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CC800®HiPIMS

Die CC800® HiPIMS ist in der Lage, alle vorhandenen CemeCon Beschichtungen und nahezu alle im Markt verfügbaren PVD-Beschichtungen herzustellen. Mit Beschichtungsraten bis zu 2μm/h HiPIMS und Schichtdicken von 1μm  bis aktuell 12μm. Mit einem Füllgrad von bis zu 1800 rundlaufenden Werkzeugen oder 5000 Wendeschneidplatten. Sie ist das schnellste, flexibelste und wirtschaftlichste Produktions-System auf dem Markt und ist die perfekte Plattform zur Entwicklung kundenspezifischer Prozesse. Werkzeughersteller können hierdurch ihre Produkte im Markt differenzieren und einen Wettbewerbsvorteil erzielen.
Artikel-Nr.: 800-MLHIPIMSC2
Zolltarif-Nr.: 84798997
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Technische Daten
Technische Daten
Substrattisch, Ø x Ø Satelliten x Anzahl der Satelliten (mm/Stück) Ø400 x Ø130 x 6
Kathoden (Stück/mm) 6x500 (davon 4 wahlweise HiPIMS/DC,sowie 2 weitere DC;alle Kathoden sind mit Shuttern ausgerüstet)
Maximale Abmessungen des Substrats Ø x h Ø400 x 800
Kapazität Bohrer, Ø6mm x 60mm (Stück) 1800
Kapazität WSP, 12,7mm x 3,5mm (Stück) 4920
Beladung (kg) 250
Schichtrate µm/h 2 µm/h HiPIMS
Zykluszeit für 3 μm FerroCon®* (h) 4,5
Prozessverfahren HiPIMS und Sputtern mit Booster-Technologie. Alle etablierten CemeCon Schichten sind möglich.
Substratvorvbehandlung (Plasmaätzen) Booster-, MF- und HiPIMS-Ätzen
Elektrisch leitende Schichten ja
Elektrisch nicht leitende Schichten ja
Elektrisch nicht leitende Substrate Ja
Leistungsaufnahme max. (kVA) 166
Stromverbrauch pro Charge für 3μm FerroCon®* (kWh) 120
Aussenabmessung mm (b x l x h) 1.450 x 3.350 x 2.200
Prozessschritt Beschichten
Beschichtungsablauf Beschichten
* pure HiPIMS Schicht auf 10 mm Fräser, volle Beladung, 3-fach Rotation
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