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CC800®/9 ML

Die CC800®/9 ML von CemeCon mit DC-Sputter-Technologie sind besonders flexibel und universell einsetzbar. Sie beschichtet einfach und schnell mit allen nitridischen, boridischen und kohlenstoffbasierten Schichtwerkstoffen. Sie ist die wirtschaftliche Anlage für mittlere Stückzahlen und häufige Chargen- und Schichtwerkstoffwechsel. Aufgrund ihrer hohen Flexibilität hat sich die CC800®/9 ML-Baureihe in der Forschung und Entwicklung bewährt. Die modulare, offene Bauweise ermöglicht es, die Anlage mit vielen Erweiterungen und Optionen wie Messgeräten auszustatten.
Artikel-Nr.: 800-MLAS3
Zolltarif-Nr.: 84798997
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Technische Daten
Technische Daten
Beschichtungsraum,Ø x h (mm) Ø400 x 400
Substrattisch, Ø x Ø Satelliten x Anzahl der Satelliten (mm/Stück) Ø400 x Ø130 x 6
Kathoden (Stück/mm) 4 x 500 (DC)
Maximale Abmessungen des Substrats Ø x h Ø400 x 800
Kapazität Bohrer, Ø6mm x 60mm (Stück) 1800
Kapazität WSP, 12,7mm x 3,5mm (Stück) 4920
Beladung (kg) 250
Schichtrate µm/h 2 µm/h
Elektrisch leitende Schichten ja
Elektrisch nicht leitende Schichten nein
Elektrisch nicht leitende Substrate Nein
Leistungsaufnahme max. (kVA) 135
Aussenabmessung mm (b x l x h) 1,050 x 3,350 x 2,200
Prozessverfahren Sputtern mit Booster-Technologie. Alle etablierten DC CemeCon Schichten sind möglich.
* auf 10 mm Fräser, volle Beladung, 3-fach Rotation
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